Aplicaciones específicas de los limpiadores de plasma

Las máquinas de limpieza/grabado por plasma generan plasma colocando dos electrodos en un recipiente sellado para crear un campo eléctrico. Se utiliza una bomba de vacío para mantener un cierto nivel de vacío. A medida que el gas se vuelve cada vez más enrarecido, también aumenta la distancia entre las moléculas y el libre movimiento de moléculas o iones. Bajo la influencia del campo eléctrico, estos iones chocan y forman plasma. Estos iones son altamente reactivos, con suficiente energía para romper casi todos los enlaces químicos, induciendo reacciones químicas en cualquier superficie expuesta. Los diferentes plasmas de gas tienen diferentes propiedades químicas. Por ejemplo, el plasma de oxígeno es altamente oxidante, capaz de oxidar el fotorresistente para producir gas, consiguiendo así un efecto limpiador. El plasma de gas corrosivo tiene una excelente anisotropía, que cumple con los requisitos del grabado. El tratamiento con plasma produce un brillo, de ahí el nombre de descarga luminosa.
El mecanismo de limpieza con plasma se basa principalmente en la "activación" de partículas activas en el plasma para eliminar las manchas superficiales. En términos del mecanismo de reacción, la limpieza del plasma generalmente implica el siguiente proceso: los gases inorgánicos se excitan a un estado de plasma; las sustancias gaseosas se adsorben sobre la superficie sólida; los grupos adsorbidos reaccionan con las moléculas de la superficie sólida para formar moléculas de producto; las moléculas del producto se descomponen en la fase gaseosa; y los residuos de la reacción se eliminan de la superficie.

La característica más importante de la tecnología de limpieza por plasma es que puede tratar cualquier tipo de sustrato, incluidos metales, semiconductores, óxidos y la mayoría de los materiales poliméricos como polipropileno, poliéster, poliimida, cloruro de polivinilo, epoxi e incluso politetrafluoroetileno. Puede limpiar tanto toda la superficie como zonas específicas, así como estructuras complejas.